更新時間：2022-11-16
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預熱時間的要求，01系列的預熱時間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%，可以滿足更多的客戶流量控制應用場合。材質(zhì)上，01系列采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強的抗振動性能。
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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列
應用及案例
● 醫(yī)療設備配套
● 環(huán)境分析儀器配套
● 光譜色譜分析儀器配套
● 其它氣體流量測控行業(yè)
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列
產(chǎn)品特色
● 價格低廉，性能卓yue
● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成
● 快速響應，優(yōu)于70 ms的預熱時間
● 壓損極低，最小滿量程壓損僅為1KPa
● 內(nèi)置精巧的PD閥（比例微分閥），控制穩(wěn)定、精確
● 測量和控制范圍0.5 ~ 100%滿量程，一臺設備適用于多個應用
● 配備模擬控制和數(shù)字控制
● 卓yue的抗振性能，可適用于鐵路焊機等嚴格場合
介質(zhì)要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質(zhì)種類 每臺設備只能選擇A，B，C其中一種
A：空氣（AIR）、氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、
氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)，可通過數(shù)字方式切換
B：氦氣(He)；
C：氫氣(H2)，其他氣體需咨詢
量 程 0-100 SCCM ，0-1000 SCCM， 0-20 SLPM，0- 50 SLPM
（注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%）
測量和控制范圍 1 ~ 100%滿量程 （0-100 SCCM）
0.5 ~ 100%滿量程
（0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）
精 度 ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）
重 復 性 ± 0.5 % 讀數(shù)
質(zhì)量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃
時間漂移 0.05%滿量程/年
累計流量精度：標準精度額外增加±2%讀數(shù)
響應時間 優(yōu)于100 ms
預熱時間 70 ms
默認標準狀況（STP） 25℃ & 1Atm（其它標況可定制）
工作溫度 0 ～ 50℃ 工作濕度 < 90 %，無冷凝
最大工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM為145PSIG
0-20 SLPM為60 PSIG
耐 壓 175 PSIG
數(shù)字輸入/輸出信號 RS485或RS232，Modbus RTU協(xié)議
模擬輸入/輸出信號 0 - 5 VDC或4 - 20 mA
模擬信號刷新頻率 400 Hz
供電電壓 10-30 VDC
供電電流 200 mA
泄 漏 率 閥門泄露：10-5 Atm cc/sec He ，外漏：10-9 Atm cc/sec He
材 質(zhì) 主體材質(zhì)： 316不銹鋼
閥體材質(zhì)：黃銅，302，303，430FR不銹鋼
密封材質(zhì)：FKM（Viton）；傳 感 器：氮化硅
過程連接 NPT或SAE內(nèi)螺紋
振 動 20g；MIL-STD-883E，Method 2002.4
安裝方式 對位置無要求
閥門類型：常閉
防護等級 IP40
認 證 CE、RoHS、REACH
設備滿量程 | 對大氣滿量程壓損（KPa） | 機械尺寸 | 過程連接尺寸 |
0 ~ 100 SCCM | 1 | 2.6''H ×2.5''W ×0.9''D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 |
0 ~ 1000 SCCM | 1 | ||
0 ~ 20 SLPM | 35 | 3.0''H ×2.8''W ×0.9''D | 3/8''NPT內(nèi)螺紋 |
0 ~ 50 SLPM | 咨詢我們 | 2.7''H ×4.0''W ×1.4''D |
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