更新時間：2025-01-15
ALICAT 截止閥質量流量計控制器21VS系列，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。
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ALICAT 截止閥質量流量計控制器21VS系列
應用及案例
● 大學/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 截止閥質量流量計控制器21VS系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動截止閥，泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度 優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100：1
● 響應時間快 僅需100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類 內(nèi)置了128種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 100:1
最大顯示流量：102.4%FS
顯 示 屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程
高 精 度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門泄漏率 不超過1x10 atm scc/sec (He)
重 復 性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm
響應時間 100ms 預熱時間：<1s
標定工況 25℃ & 100kPa 絕壓
20℃ & 100kPa 絕壓
0 ℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度 -10 ～ +50 ?C
工作濕度 0-100%,無冷凝
標準最大工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材 質 316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。
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