便攜式多通道壓縮空氣質(zhì)量檢測儀AQ 500M 檢測壓縮空氣質(zhì)量-便攜式解決方案 依據(jù)ISO 8573檢測壓縮空氣質(zhì)量：殘油-顆粒-殘余濕度，應(yīng)用于半導(dǎo)體，潔凈室，無油空壓機等空氣凈化行業(yè)
高壓氣體粒子計數(shù)器由 LSGY101 高壓氣體粒子計數(shù)器主機和 DDS-A 數(shù)據(jù) 顯示系統(tǒng)兩部分組成。 高壓氣體粒子計數(shù)器主機用于監(jiān)測 40~150 PSIG 壓力氣體中的塵埃粒子的 濃度，最小粒徑檔可達(dá) 0.1μm，流量為 2.8L/min（即 0.1cfm）； 數(shù)據(jù)顯示系統(tǒng)用于接收計數(shù)器主機發(fā)過來的監(jiān)測數(shù)據(jù)，既可顯示各粒徑檔的 計數(shù)結(jié)果，又可通過網(wǎng)口等通訊接口向終端提供監(jiān)測結(jié)果
在線氣相色譜儀Ka PLUS8000---集質(zhì)量與性能一身的模塊化氣相色譜 被中國**局認(rèn)可的等離子放電檢測器***，在氣相色譜和氣體分析領(lǐng)域中具有悠久的創(chuàng)新歷史，是等離子體發(fā)射光譜技術(shù)和氣相色譜的技術(shù)**、創(chuàng)新者。
碳排放分析儀在“雙碳”目標(biāo)的實現(xiàn)過程中，準(zhǔn)確的碳排放計量是指導(dǎo)減排任務(wù)分解、考核績效評定、碳市場定價的基礎(chǔ)。計量技術(shù)可直接用于碳排放測量、能源測量、自然資源與環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域，并為碳排放、碳減排、碳**和市場化機制等標(biāo)準(zhǔn)制定提供量值依據(jù)。 中國計量科學(xué)研究院很早便在國內(nèi)開展碳排放計量標(biāo)準(zhǔn)的建立、關(guān)鍵測量技術(shù)研究和測量設(shè)備調(diào)研等相關(guān)工作，并取得國內(nèi)**、國際**的研究成果。
MIR-FT/P傅里葉紅外光譜儀基于傅里葉紅外法（FTIR）測量原理，用于NO、NO2、NOX、N2O、CO、CO2、SO2、HC、HF、CH4、NH3、H2O、O2等多種不同組分的**測量。該設(shè)備可根據(jù)排放標(biāo)準(zhǔn)的不斷提高和監(jiān)測組分的不斷增加而進行不斷升級，以*大限度滿足現(xiàn)在和未來的監(jiān)測需求。該系統(tǒng)滿足2000/76/EC(WID)和2001/80/EC（LCPD）法規(guī)，在符合EN14181
半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS 1、精密測溫NTC傳感器； 2、真空貫通法蘭； 3、精密多通道測溫儀； 4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。
TC Wafer 晶圓有線測溫系統(tǒng) 儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，在這些設(shè)備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。 TC Wafer晶圓有線測溫系統(tǒng)用于許多行業(yè)，包括快速熱處理 （RTP）、快速熱退火 （RTA）、曝光后烘烤 （PEB）、化學(xué)氣相沉積 （CVD）、物理氣相沉積 （PVD）、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝等應(yīng)用。
無線實時驗證系統(tǒng)，將實時驗證提升到新的高度 Kaye ValProbe RT 系統(tǒng)包含的設(shè)計理念，集合了無線實時系統(tǒng)和一個驗證操作控制臺。 操作控制臺是一個堅固的、專用于連接 Kaye ValProbe RT和原來的 Kaye硬件的操作控制臺。其預(yù)安裝了所有Kave軟件，并僅用于驗證工作而設(shè)計。該理念極大的簡化了軟件的驗證和對不斷變化的電腦、操作系統(tǒng)和核心負(fù)載的依賴。Kaye ValProbe
OMS420氧濃度和燃燒效率一體化在線監(jiān)測系統(tǒng)是基于ZrO2 測量原理，可選擇測量Coe傳感器測量未燃燒的可燃物濃度，組成一個完整的燃燒效率在線監(jiān)測系統(tǒng)系統(tǒng)測量單元安裝在煙道外面，煙氣通過倒流管引入到測量單元，原煙氣返回?zé)煹馈? 氧濃度和燃燒效率一體化在線監(jiān)測系統(tǒng)可選擇定時自動標(biāo)定功能和自動吹灰功能。
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